【摘 要】
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本文介绍了一种用于密集波分复用系统的深刻蚀高密度熔融石英光栅的设计和制作过程。感应耦合等离子体刻蚀技术(ICP)被用来制作这种高效率的熔融石英光栅。所制作的光栅在155
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800 中国科学院研究生院,北京 100039
【出 处】
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2006年二十一世纪中国光电产业发展论坛
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本文介绍了一种用于密集波分复用系统的深刻蚀高密度熔融石英光栅的设计和制作过程。感应耦合等离子体刻蚀技术(ICP)被用来制作这种高效率的熔融石英光栅。所制作的光栅在1550nm波长的实测效率达到了87.1％，并且具有偏振依赖性小、可并行解复用和光学性质稳定等优点，非常适用于密集波分复用系统。所制作的高密度深刻蚀熔融石英光栅将在DWDM系统中起到很大的作用。
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