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本文介绍了辉光放电质谱(GDMS)的基本原理.对辉光放电质谱在块状金属、半导体、非导体、溶液、气体和深度分析方面的应用。块状金属和半导体的痕量元素分析是GDMS主要的应用,它们的研究报道众多,而对非导体材料的分析扩宽了GDMS的应用范围,同时对溶液和气体样品进行分析是GDMS新的应用尝试。作为一种重要深度分析方法,GDMS在深度分析方面的应用迅速增加，展望了辉光放电质谱的发展趋势。