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在物理法提纯太阳能级多晶硅材料和定向结晶系统(DSS)采用石英陶瓷坩埚。石英陶瓷坩埚的涂层材料及其应用工艺均不同于拉单晶使用的石英玻璃坩埚。石英陶瓷坩埚的涂层在提纯多晶硅和定向结晶中起关键性的作用。
多晶硅铸锭石英陶瓷坩埚及涂层
【摘 要】
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在物理法提纯太阳能级多晶硅材料和定向结晶系统(DSS)采用石英陶瓷坩埚。石英陶瓷坩埚的涂层材料及其应用工艺均不同于拉单晶使用的石英玻璃坩埚。石英陶瓷坩埚的涂层在提纯
【机 构】
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苏州创新陶瓷有限公司; 常州天合光能有限公司;
【发表日期】
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2008年期
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