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通过拉晶热场系统、单晶炉真空系统及计算机自控参数，掺杂机构、拉晶工艺等一系列改进，在国产ＴＤＲ－６２Ｂ单晶炉上采用１２″热场成功地实现了大投料量，生长出Φ１００ｍｍ重掺砷硅单晶。同时还进一步改进和完善了重掺砷单晶在试制、生产过程中的环保治理，采取了高效安全的砷毒防护措施，目前已投入批量生产，产品８０℅以上销往美、日等国。