【摘 要】
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采用低能离子束溅射技术制备了纳米非晶NiCr合金薄膜,该薄膜在快速热处理下发生了由非晶到晶态的转变.用扫描俄歇微探针仪、小角度X射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜、a-台
【机 构】
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中南大学物理科学与技术学院,长沙 410083
【出 处】
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中国工程院化工、冶金与材料工程学部第五届学术会议
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采用低能离子束溅射技术制备了纳米非晶NiCr合金薄膜,该薄膜在快速热处理下发生了由非晶到晶态的转变.用扫描俄歇微探针仪、小角度X射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜、a-台阶仪、四探针仪等分别测量了薄膜的厚度、结构、形貌及电学特性.结果表明,离子束溅射与快速热处理相结合的技术方案是制备纳米Nicr合金薄膜的一种有效技术.可制得性能优良的纳米NiCr合金薄膜.
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