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以含有裂纹和孔洞的单晶硅为研究对象，采用优化修正的MEAM势进行分子动力学模拟。在Ⅰ型加载条件下，研究了初始孔洞分布，孔洞间距，孔洞与裂纹间距以及晶向对裂纹扩展速度及趋势的影响。模拟结果表明，位于裂纹前端的孔洞对裂纹扩展模型及其随后的孔洞与裂纹的聚合能够产生重要影响。通过分别改变裂纹与孔洞，孔洞与孔洞之间的距离，根据主裂纹扩展的响应可以得到裂纹与孔洞，孔洞与孔洞相互作用的临界间距。当裂纹与孔洞的间距减小到临界距离时，裂纹扩展速度增大并且裂纹迅速扩展至孔洞。此外，裂纹与孔洞的相互作用受初始孔洞分布的影响。当孔洞间距小于临界间距时，孔洞与孔洞先发生聚合从而阻止裂纹进一步扩展。