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分别采用水热法和溶胶-凝胶法制备了ITO薄膜,并借助X射线衍射、扫描电镜等表征手段对制备的薄膜进行了结构和性能分析.结果表明水热法制备的ITO薄膜均匀、致密,表现出很好的光电性能,特别是其电阻率可达8.8×10-2Ω·cm;而溶胶-凝胶法制备的ITO薄膜表现出更好的光学性能,并在600～800nm波长范围内具有明显的增透作用。