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本文介绍了在电真空器件生产过程中遇到的一种闭空间气源问题,建立了闭空间气源在管壁内的漏孔对器件的影响模型,举例说明了器件在排气封离后,如果有闭空间存在的解决方法和依据。
管壁内闭空间气源对器件真空性能的影响
【摘 要】
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本文介绍了在电真空器件生产过程中遇到的一种闭空间气源问题,建立了闭空间气源在管壁内的漏孔对器件的影响模型,举例说明了器件在排气封离后,如果有闭空间存在的解决方法和依据。
【机 构】
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电子科技大学物理电子学院,成都,610054
【出 处】
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第九届真空技术应用学术年会
【发表日期】
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2006年4期
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