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拉曼散射和極化同步輻射吸收光譜的技術可以被用來研究未参雜氮化鎵薄膜生長在矽基板上和不同矽参雜濃度之氮化鎵薄膜生長在藍寶石基板上的應力變化，利用極化同步輻射吸收光谱可以得到不同生長技術還有不同生長基板的氮化鎵薄膜的晶格常數，此時，薄膜所受之應力可以被推得，此外，利用拉曼散射光谱一些模態的位移，可以確定極化同步輻射光譜所测得薄膜應力的正確性。