【摘 要】
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本文研究银离子注入不锈钢和在不锈钢基底上生长的TiN膜的微观结构和组分.XRD、XPS、AES分析的结果表明银离子注入没有影响TiN(111)择优取向.AES深度分析计算表明TiN膜厚约为
【机 构】
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天津师范大学物理与电子信息学院(天津)
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本文研究银离子注入不锈钢和在不锈钢基底上生长的TiN膜的微观结构和组分.XRD、XPS、AES分析的结果表明银离子注入没有影响TiN(111)择优取向.AES深度分析计算表明TiN膜厚约为4920nm.银在不锈钢和TiN膜上的晶面择优取向很可能为(200)、(111).银离子注入前后Ti、Fe的价态都发生了变化,Ag是以单质和AgO形式存在.实际所测的银离子注入不锈钢和氮化钛的投影射程为24nm和180nm,大于理论值,都在6nm处有最高浓度银的浓度分布,并不完全是对称的高斯分布,高斯峰向表面有一个偏移,这是因为高能注入时的溅射效应使靶表面向内迁移所引起的.本文在微观分析的基础上,讨论了样品抗菌性的成因.
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