用离子注入的方法实现InGaAs/InGaAs激光器材料的量子阱混合

来源 :全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guo20
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为了在光开关器件的局部区域实现量子阱混合,选用1~2MeV、1×10<13>~5×10<13>cm<-2>的P<+>离子注入到InGaAs/InGaAs分别限制多量子阱(SCH-MQW)激光器结构,在700℃下快速热退火90s。发现光致发光谱的峰值位置发生蓝移9~89nm。蓝移的大小随着注入能量和剂量的增大而增大,并且能量比剂量对蓝移的影响更大。
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