【摘 要】
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静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键,其引入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响.本文对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性进行分析.
【机 构】
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北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室,北京100191
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
静电驱动是实现微米光栅加速度计小型化和闭环力反馈控制的关键,其引入的静电刚度对加速度计灵敏度有着重要影响.本文对基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度特性进行分析.首先,建立了基于静电刚度的微米光栅加速度计灵敏度模型.其次,通过MATLBA仿真,得到静电驱动电压与传感器灵敏度的理论关系.最后,对理论分析结果进行了实验验证,结果表明静电刚度可以改善系统刚度,静电电压从1.25V到2.05V等间隔变化时,加速度计的灵敏度由871mV/g变化为1148mV/g,分别相对于未加电时的灵敏度783mV/g提高了0.46dB到1.66dB,提高了微米光栅加速度计的灵敏度.本文研究内容对集成式闭环微米光栅加速度计的研究提供参考.
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