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利用扫描探针显微镜诱导氧化加工金属纳米氧化线,可以构成金属-绝缘体-金属纳米级隧道结,进而可以在其基础上加工半导体纳米器件.由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度、诱导偏置电压、加工速度等对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用,试验研究了上述加工参数对在绝缘体表面加工金属氧化线结果的影响,得到了相对湿度30％、扫描速度8μm/s等比较理想的加工参数和加工结果.