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本文利用脉冲激光沉积技术在六方纤锌矿结构的蓝宝石衬底上制备了TiO2薄膜，分别研究了沉积温度、氧分压对薄膜晶相的影响。采用X-射线衍射仪(XRD)表征薄膜的晶体微观结构和原子力显微镜(AFM)观察薄膜的表面形貌，并利用高能电子衍射(RHEED)监测薄膜的生长模式和外延匹配关系。
脉冲激光沉积金红石相TiO2薄膜的研究
【摘 要】
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本文利用脉冲激光沉积技术在六方纤锌矿结构的蓝宝石衬底上制备了TiO2薄膜，分别研究了沉积温度、氧分压对薄膜晶相的影响。采用X-射线衍射仪(XRD)表征薄膜的晶体微观结构和原
【机 构】
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电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都 610054
【出 处】
：
第十二届全国电介质物理、材料与应用学术研讨会
【发表日期】
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2008年期
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