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在高纯硅烷气体生产中，建立液氨回收系统，使液氨得到合理回收，并循环使用，减少氨耗，降低产品成本，从根本上解决环境污染。
硅烷发生中液氨回收循环使用
【摘 要】
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在高纯硅烷气体生产中，建立液氨回收系统，使液氨得到合理回收，并循环使用，减少氨耗，降低产品成本，从根本上解决环境污染。
【机 构】
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有色冶金设计研究总院
【出 处】
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全国重冶新技术新工艺成果交流大会
【发表日期】
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1998年期
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