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利用有限元方法研究了Al2O3/316L涂层形成过程中的残余应力的分布。结果表明，由于涂层与基体的热膨胀系数不匹配等原因，在界面等区域存在严重的应力集中。涂层厚度、孔隙率大小以及涂层是否致密对残余应力水平有很大影响。涂层内部关键区域的残余应力水平，随着涂层厚度增加而增加；孔隙率不同对界面的残余应力分布趋势没有明显影响，但对应力值却有很大影响，孔隙率增大涂层残余应力最大值下降；相同厚度情况下致密Al2O3涂层所受压应力远大于多孔Al2O3涂层承受的残余应力。