【摘 要】
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熔石英玻璃在激光的辐照下会发生损伤而导致内部失透,提高熔石英玻璃激光损伤阈值有利于解决这个问题.论文通过实验研究了熔石英玻璃中羟基含量及类型对熔石英玻璃248nm激光
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熔石英玻璃在激光的辐照下会发生损伤而导致内部失透,提高熔石英玻璃激光损伤阈值有利于解决这个问题.论文通过实验研究了熔石英玻璃中羟基含量及类型对熔石英玻璃248nm激光体损伤阈值的影响.首先利用气氛热处理方法制得不同羟基含量的熔石英玻璃样品,经相同的研磨抛光流程,并采用HF酸腐蚀1μm的表面层,从而忽略表面质量引起的吸收损伤.实验结果发现,当羟基含量控制在(7～8)×10-4时,248nm激光体损伤阂值可达10～11J/cm2,其中相邻羟基的存在有利于提高损伤阈值,孤立羟基则起相反作用.
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