【摘 要】
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GaN-based light emitting diodes (LEDs) have been grown by metal-organic chemical vapor deposition on Si substrate with and without 3C-SiC intermediate layer
【机 构】
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School of Electronics and Information,Nantong University SeYuan Road No.9,Nantong,Jiangsu Province,C
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GaN-based light emitting diodes (LEDs) have been grown by metal-organic chemical vapor deposition on Si substrate with and without 3C-SiC intermediate layer (IL).Structural property has been characterized through atomic force microscope and X-ray diffraction (XRD) measurements.It has been revealed that a significant improvement in crystalline quality of GaN epilayer can be achieved by using 3C-SiC as IL.Regarding electrical and optical characteristics,the LEDs with 3C-SiC IL have much smaller leakage current and higher light output power than the LEDs without IL.As a result,at an injection current of 20 mA,a double enhancement of light output power has been realized.Nevertheless,the better performance of LEDs using 3C-SiC IL can be contributed to both the quality improvement of epitaxial layers and enhancement in the light extraction efficiency.
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