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介绍了RF MEMS电阻接触式开关以及电容耦合式开关。基于RF MEMS开关具有插入损耗低、隔离度高、线性度高、功耗低和体积小等优点，阐述了RF MEMS开关设计的基本原理，列举了国内和国外现有的几种典型开关结构，并进行了对比。通过分析几种典型结构的优缺点，提出一些意见，并展望了RF MEMS开关的发展。