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基于Web of Science论文数据库，采用科学计量学方法，从合作国别、合作学科、合作机构、高质量论文等方面，分析2004－2013年间我国集成电路制造技术研究的国际合作特性。 研究结果表明：我国集成电路制造技术的研究水平逐年上升，国际合著论文数不断增长，合作国家范围不断扩大，合作的一流机构不断增多，但是，受美欧主要发达国家的技术保护限制，我国在某些关键技术领域仍受制于人，加大自主研发投入力度、引导社会资源、集中攻克关键技术、突破技术壁垒，最终实现自主创新是今后我国集成电路制造技术发展的必经之路，也是推进《中国制造2025》战略实施的关键所在。