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用基于激光烧蚀的沉积方法制备了纳米硅颗粒膜。烧蚀靶材为单晶硅，氩气用作环境气体。颗粒的形状和尺寸用透射电镜观察，得到的颗粒大小为纳米量级，纳米硅颗粒膜具有较强的可见波段的光致发光能力，光发射的强度和光谱分布还与温度有关。
纳米硅颗粒膜的制备及其光致发光特性的研究
【摘 要】
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用基于激光烧蚀的沉积方法制备了纳米硅颗粒膜。烧蚀靶材为单晶硅，氩气用作环境气体。颗粒的形状和尺寸用透射电镜观察，得到的颗粒大小为纳米量级，纳米硅颗粒膜具有较强的可见波
【机 构】
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大学物理系三束材料改性国家重点实验室(上海)
【出 处】
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第三届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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1998年期
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