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介绍一种高声压级噪声传感器，通过MEMS工艺制造的压阻原理敏感元件，在高声压级(120dB～150dB)动态范围内的线性度小于1％，频率响应为30Hz～8kHz。传感器输出为标准电压信号，方便计算机采集处理，可组成噪声测量阵列，在强噪声环境测量中具有广泛的应用前景。
高声压级MEMS噪声传感器的研制
【摘 要】
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介绍一种高声压级噪声传感器，通过MEMS工艺制造的压阻原理敏感元件，在高声压级(120dB～150dB)动态范围内的线性度小于1％，频率响应为30Hz～8kHz。传感器输出为标准电压信号，方便计算机
【机 构】
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中国电子科技集团公司第三研究所,北京100015
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2014年期
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