【摘 要】
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本文用中频孪生溅射技术在Si(111)基底上制备了富Al元素且Al/Ti原子比不同的TiAlN涂层,对其结构及表面形貌进行了研究,并在UMT-2MT摩擦试验机上进行摩擦试验,研究了不同原子
【机 构】
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兰州大学等离子体与金属材料研究所,甘肃,兰州,730000
【出 处】
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第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
论文部分内容阅读
本文用中频孪生溅射技术在Si(111)基底上制备了富Al元素且Al/Ti原子比不同的TiAlN涂层,对其结构及表面形貌进行了研究,并在UMT-2MT摩擦试验机上进行摩擦试验,研究了不同原子比下的摩擦性能及摩擦系数,并对试验后的形貌进行了分析.发现涂层结构随着Al含量的增高发生转变,在高含量下,晶界明显,摩擦系数也明显增大,涂层脱落严重.
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