1 关于TCO成膜设备的概要薄膜硅太阳能电池的制造过程分为前段和后段.前段是制造TCO玻璃、通常情况下，薄膜硅太阳能电池生产厂家，基本上会购买已经TCO成膜玻璃.现在，中国薄膜电池厂家，很多都是从玻璃厂家购买TCO玻璃，制造薄膜太阳能电池.如果导入前段工艺设备，可以自己生产TCO玻璃，大大降低成本，也可以任意调节膜质生产TCO玻璃.Ⅱ.在常压CVD方式中技术的优越性现在TCO成膜方法有可以在常压下使用的[热CVD]，需要真空环境的[磁控溅射]等.热CVD方式、相对于磁控溅射方式有很多优势.热CVD(常压)方式不需要真空环境，生产性高.因为化学反应成膜，附着性好.除了搬运玻璃以外，无运作部件，所以售后服务修理也很方便.如果导入我司制模设备，可以大幅降低成本，也可以任意调整膜质，可以在成膜技术上积蓄丰富经验.Ⅲ.TCO威膜必要的技术TCO成膜是把Sio2、Sno2的2种膜1100mm×1400mm(G 5)多层贴合在玻璃基板形成的膜.关于膜品质和生产性非常重要的技术是：1.把特殊气体，液体材料，在一定精度下稳定提供技术TCO的成膜需要特殊气体，液体材料的高精度，稳定控制供给技术.2.可以把材料均一喷射的送料器涂布技术需要对应生产性，成本有优势的(G8尺寸)大型基板，需要材料均一喷射送料器的涂布技术，高度气体层流技术，热交换技术.3.可以管理制品的品质，生产的电器仪器仪表技术从玻璃投入到生产，品质管理，安全性确保过程中，需要制动化网络系统构建技术.