IC制造用化学品的技术要求和发展趋势

被引量 : 0次 | 上传用户：jenny_408

【摘要】

：

<正>近几年,集成电路技术得到了突飞猛进的发展。主要表现在：圆片直径由 200mm 到300mm、更小的栅极尺寸(90nm)、双嵌入式铜制程工艺、低介电常数和高介电常数材料的制备等方

【作者】

：

徐伟王继华

【机构】

：

华虹-NEC;

【发表日期】

：

2004年期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

<正>近几年,集成电路技术得到了突飞猛进的发展。主要表现在：圆片直径由 200mm 到300mm、更小的栅极尺寸(90nm)、双嵌入式铜制程工艺、低介电常数和高介电常数材料的制备等方面。随之而来的是,对工艺加工过程中使用的专用化学品的要求也越来越高。主要反映在对化学品的均匀性、稳定性、清洁度(颗粒)、杂质的种类和含量等方面的要求,几乎达到了苛刻的程度。如光刻胶、化学药品(H2SO4、HF、IPA)中金属杂质的含量达到 PPB 级甚至 PPT 级；特种气体(SIH4、SIH2CL2、C2F6)纯度要求在

其他文献

神经调节蛋白1对大鼠缺血心肌的保护作用

目的研究神经调节蛋白1对大鼠缺血心肌的保护作用及对心肌Toll样受体4的影响。方法将成年雄性SD大鼠随机分为心梗模型组（MI组,n=12）、NRG-1预处理组（NRG组,n=12）及假手术组（sham组

期刊

神经调节蛋白1TOLL样受体4心肌梗死neuregulin-1 Toll-like receptor 4 myocardial infarction

莱菔子水溶性生物碱逆转SHR心血管重构的实验研究

目的：探讨莱菔子水溶性生物碱对自发性高血压大鼠（SHR）的血压及心血管重构的影响。方法：将40只SHR随机分为5组：空白组、莱菔子水溶性生物碱高、中、低剂量组、卡托普利组,每组8只

期刊

莱菔子水溶性生物碱自发性高血压大鼠心血管重构

依达拉奉和远隔缺血后处理对心肌再灌注损伤的保护

目的评价依达拉奉后处理联合远隔缺血后处理对大鼠心肌缺血再灌注损伤的影响.方法健康雄性SD大鼠40只,8周龄,体重250-300 g,采用随机数字表法,将其分为5组（n=8）：假手术组（S组）、

期刊

依达拉奉缺血再灌注损伤远隔缺血后处理edaravone ischemia reperfusion injury remote ischemic postc

弹性工作制的政治经济学分析——理论探源及影响分析

自20世纪60年代德国最早实施弹性工作制以来，弹性工作制在西方发达国家得到广泛应用并在全世界扩散。弹性工作制的实施和扩散表明工作时间从普遍化的减少开始向差异化和灵活化

期刊

弹性工作制工作时间政治经济学弹性积累体制契约关系转型

创意程度和任务导向对网络广告受众的影响

网民数量的增长和网络购物的普及使网络平台在企业营销中变得越来越重要。企业逐渐增加网络广告的资金投放,以此来拓展商品销售渠道,加大对企业或品牌的宣传,从而达到吸引消

学位

网络广告广告创意程度任务导向不同性别眼动研究

家长对小学生近视的知信行分析

目的了解保定市小学生家长关于小学生近视知信行的相关现状及影响因素,制定有效干预措施,为预防儿童青少年近视提供有力依据。方法运用分层整群随机抽样的方法,抽取保定市某

期刊

小学生家长近视知信行影响因素

光谱法海水多元素重金属同步检测方法研究

我们日常生活中接触到的重金属大部分是固态,这个时候,它们不会危害我们的健康。一旦他们以离子形式随着废水、废气和废渣进入环境,便祸害无穷。部分重金属污染因浓度高、污

学位

重金属光谱检测分光光度法影响因素分析数学建模

IC制造用化学品的技术要求和发展趋势

其他学术论文