【摘 要】
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为提高声表面波陀螺仪的检测灵敏度,本文实验研制了一种操作频率为95MHz的结合金属点阵的行波模式声表面波陀螺仪.该结构由压电基片上一对平行且反向设置的声表面波延迟线振
【机 构】
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中国科学院声学研究所 北京100190
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
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为提高声表面波陀螺仪的检测灵敏度,本文实验研制了一种操作频率为95MHz的结合金属点阵的行波模式声表面波陀螺仪.该结构由压电基片上一对平行且反向设置的声表面波延迟线振荡器以及分布于声波传输路径上的金属点阵构成.基片材料为128°YX LiNbO3,金属点阵材料分别取金、铜两种不同密度的金属,用以分析不同点阵材料对陀螺仪检测灵敏度的影响.结合研究层状介质中声波传输特性的方法,理论计算了128°YX LiNbO3压电基片上不同厚度的金、铜两种点阵对声表面波陀螺效应的影响,计算结果表明,增加点阵厚度或使用密度较大的金点阵均能提高声表面波的陀螺效应,进而提高陀螺仪的检测灵敏度.通过精确速率转台对陀螺仪进行旋转实验,实验结果与计算结果完全吻合。
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