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本文以数字式激光干涉仪为基础，采用了移相干涉测量技术，根据抛物面光学元件的几何特性，即非球面元件的无像差共轭点特性，研制必要的辅助光学元件及可以量传的标准器，构成完整的抛物面光学元件校准装置，介绍了抛物面光学元件面形校准装置及测量方法，并对测量结果进行了不确定度评定。
抛物面光学元件校准装置
【摘 要】
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本文以数字式激光干涉仪为基础，采用了移相干涉测量技术，根据抛物面光学元件的几何特性，即非球面元件的无像差共轭点特性，研制必要的辅助光学元件及可以量传的标准器，构成完整
【机 构】
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国防科技工业光学一级计量站，陕西 西安 710065
【出 处】
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中国计量测试学会光辐射计量学术研讨会
【发表日期】
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2011年期
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