【摘 要】
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本文研制了一种基于MEMS技术的地面大气电场传感器系统.MEMS地面大气电场传感器基于电荷感应原理,以先进的MEMS技术加工的敏感结构为核心感应元件,与传统的场磨式电场仪相比,
【机 构】
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北京大学微电子学研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室 北京100871
【出 处】
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第十三届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本文研制了一种基于MEMS技术的地面大气电场传感器系统.MEMS地面大气电场传感器基于电荷感应原理,以先进的MEMS技术加工的敏感结构为核心感应元件,与传统的场磨式电场仪相比,无机械磨损期器件,可靠性高,是一款创新的产品.外场试验结果表明,MEMS地面大气电场传感器与美国Campbell电场仪的输出曲线基本一致,说明研制的MEMS地面大气电场传感器系统能够满足预测雷暴要求,实现雷电监测和预警功能.
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