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本文概述了区熔再结晶(ZMR)方法的应用,利用该方法获得了取向一致的晶体硅薄膜.为薄膜电池的制备打下了良好的基础.
区熔再结晶法制备多晶硅薄膜的研究
【摘 要】
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本文概述了区熔再结晶(ZMR)方法的应用,利用该方法获得了取向一致的晶体硅薄膜.为薄膜电池的制备打下了良好的基础.
【机 构】
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北京市太阳能研究所
【出 处】
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中国第六届光伏会议
【发表日期】
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2000年期
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