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新型的分子玻璃化合物由于其具有较小的分子量，单一的分子量分布，良好的成膜性、热稳定性，以及可忽略的分子链间的缠结，在高分辨率的光刻胶材料尤其是极紫外光刻中的光刻胶材料方面显示了优越的性能。
2,3,4,5-四苯基噻吩类化合物的合成及其在极紫外光刻中的应用
【摘 要】
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新型的分子玻璃化合物由于其具有较小的分子量，单一的分子量分布，良好的成膜性、热稳定性，以及可忽略的分子链间的缠结，在高分辨率的光刻胶材料尤其是极紫外光刻中的光刻胶材
【机 构】
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中国科学院化学研究所,北京,100190
【出 处】
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中国化学会第28届学术年会
【发表日期】
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2012年期
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