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Thin Films of PZT-based Ternary Perovskite Compounds for MEMS

来源 :2008 IEEE International Ultrasonics Symposium(IUS)(2008 IEEE | 被引量 : 0次 | 上传用户：wuwu245

【作 者】

：

Kiyotaka Wasa Isaku Kanmo Hidetoshi Kotera Norihiro Yamauchi Tomoaki Matsuhima 

【机 构】

：

KyotoUniversityJapanPanosonic,Japan

【出 处】

：

2008 IEEE International Ultrasonics Symposium(IUS)(2008 IEEE

【发表日期】

：

2008年11期

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