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本文就最近几年发展起来各种结构、各种原理、各种测试方法的MEMS传感器进行了简单的介绍，包括光学检测的扭转式MOEMS磁场传感器、铁磁微机械磁场传感器、Ni薄板做为传感单元的磁场传感器以及谐振微机械磁场传感器等14种。
微机电磁场传感器发展综述
【摘 要】
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本文就最近几年发展起来各种结构、各种原理、各种测试方法的MEMS传感器进行了简单的介绍，包括光学检测的扭转式MOEMS磁场传感器、铁磁微机械磁场传感器、Ni薄板做为传感单元
【机 构】
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西南交通大学，信息科学与技术学院，610031
【出 处】
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2009年全国第二届电磁材料及器件学术会议
【发表日期】
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2009年8期
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