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【摘 要】
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The presented study is oriented to the theoretical optimization of the thin film deposition from a high speed flow of the rarefied gas,penetrating through a gri
【机 构】
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InstituteofThermophysics,SiberianBranchoftheRussianAcademyofSciences,Novosibirsk,Russia
【出 处】
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29th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics(第29届国际
【发表日期】
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2014年7期
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