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聚酰亚胺/SiO2-Al2O3三层复合薄膜制备工艺研究
聚酰亚胺/SiO2-Al2O3三层复合薄膜制备工艺研究
来源 :第十三届全国工程电介质学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:axyyuan
【摘 要】
:
本论文分别研究了聚酰亚胺三层复合薄膜制备工艺中的一、二层成膜温度及时间、三层膜中单层掺杂层与未掺杂层的厚度比、无机粒子的含量和无机组分重量比等因素对聚酰亚胺
【作 者】
:
刘立柱
杨立倩
翁凌
崔巍巍
朱兴松
石慧
【机 构】
:
哈尔滨理工大学材料科学与工程学院,哈尔滨 150040 哈尔滨理工大学工程电介质及其应用教育部重点实验室,哈尔滨 150040
【出 处】
:
第十三届全国工程电介质学术会议
【发表日期】
:
2011年期
【关键词】
:
聚酰亚胺
复合薄膜制备
三层复合薄膜
薄膜制备工艺
温度及时间
无机组分
无机粒子
力学性能
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本论文分别研究了聚酰亚胺三层复合薄膜制备工艺中的一、二层成膜温度及时间、三层膜中单层掺杂层与未掺杂层的厚度比、无机粒子的含量和无机组分重量比等因素对聚酰亚胺三层复合薄膜亚胺化程度、力学性能和介电性能的影响。
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