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本文采用纳米氧化铝和纳米氧化锌粉末制备出高性能的AZO靶材，用直流磁控溅射方法在玻璃衬底上制备出AZO薄膜，利用Tauc-Lorentz+Drude色散关系拟合了薄膜在可见近红外区的透射光谱，得到了该区域的光学常数。并研究了制备条件对薄膜光学性质的影响。
AZO靶材制备及其薄膜光学性能的研究
【摘 要】
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本文采用纳米氧化铝和纳米氧化锌粉末制备出高性能的AZO靶材，用直流磁控溅射方法在玻璃衬底上制备出AZO薄膜，利用Tauc-Lorentz+Drude色散关系拟合了薄膜在可见近红外区的透
【机 构】
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中国船舶重工集团公司第七二五研究所,洛阳471023
【出 处】
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2012船舶材料与工程应用学术会议
【发表日期】
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2012年7期
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