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压电微位移驱动器在精确定位与微操作等方面有很广泛的应用前景。与其它驱动器相比，它具有体积小、分辨率高、响应速度快、可控精度高、不发热、低能耗、无电磁干扰等优点。南于以上优点，压电驱动定位系统得到了周内外的广泛重视。对以柔性铰链机构作为导轨，以压电微位移驱动器作为控制元件的超微定位系统进行了系统地分析，分析了构成超微定位系统的各个组成部分的发展及关键技术，并回顾了精密定位平台在国内外的发展概况。