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对电池方阻测试的校准方法进行探讨，方阻测试仪是一种专门测量半导体方块电阻(或称薄层电阻、面电阻)的仪器，可满足一般半导体材料、导电薄膜等物质的方块电阻测量的需求。如何对方阻测试仪进行校准，现在国家尚无检定规程或校准规范。目前方阻仪器校准大体采用两种方法，第一种是电性能模块校准法，第二种利用标准片校准法。这里重点说一下4D-280 机台，其机台采用电性能校准，忽略了探针氧化、磨损带来的测试误差。本文章对4D-280 的校准方式分别进行了电性能校准，和电性能、标准片两种方式叠加校准，对比结果验证了4D-280 机台电性能、标准片叠加校准的方式，在行业中可以普遍应用。