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本文介绍了半导体芯片加工过程中产生有害气体的处理方法,通过对几种处理技术的分析比较,提出了采用高温空气燃烧技术代替传统电加热和燃料燃烧的可能性.
芯片加工工程中有害气体处理方法探讨
【摘 要】
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本文介绍了半导体芯片加工过程中产生有害气体的处理方法,通过对几种处理技术的分析比较,提出了采用高温空气燃烧技术代替传统电加热和燃料燃烧的可能性.
【机 构】
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北京建筑工程学院(北京)
【出 处】
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中国工程热物理学会传热传质学学术会议
【发表日期】
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2003年期
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