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该文从弹性力学的板壳理论出发，对不同参数的凸型梁结构形变膜受压后的应力分布作了理论计算，为获得高线性度压力传感器芯片的设计提供了理论指导。文中还用实验对该理论计算作了验证。
一种高线性度ＳＯＩ压力传感器芯片设计
【摘 要】
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该文从弹性力学的板壳理论出发，对不同参数的凸型梁结构形变膜受压后的应力分布作了理论计算，为获得高线性度压力传感器芯片的设计提供了理论指导。文中还用实验对该理论计算作
【机 构】
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石油化工学院
【出 处】
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第四届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1995年期
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