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硅微加速度计是一种最有发展前景的微结构加速度计，在国外应用已很广泛，在国内尚属空白。该文介绍一种力平衡式硅微加速度计，它的作用原理是基于经典的牛顿力学定律，当传感器感受加速度时，检测质量反向移动，于是形成电容的变化，该信解调后反馈给加力电级，产生静电反馈力用来平衡检测质量的惯性力，利用此反馈力所对应的输出电压作为加速度计对遥控车行进中的加速度、速度和位移进行了实测，结果表明：该加速度计体积小、结构紧凑、性能优越，价格低谦特别适合放置在车辆、桥梁等物体内，有着广阔的应用前景。