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本文选择了ODA/BTDA/NMP/三乙胺PAA胶液体系制备水系蚀刻聚酰亚胺.并对预烘、曝光、显影、蚀刻、热酰亚胺化的工艺条件进行了优化.
水系蚀刻聚酰亚胺的研究
【摘 要】
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本文选择了ODA/BTDA/NMP/三乙胺PAA胶液体系制备水系蚀刻聚酰亚胺.并对预烘、曝光、显影、蚀刻、热酰亚胺化的工艺条件进行了优化.
【机 构】
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高分子材料工程国家重点实验室,四川大学高分子科学与工程学院(四川成都)
【出 处】
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2003全国高分子学术论文报告会
【发表日期】
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2003年期
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