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用分子束外延(MBE)设备在Si(100)衬底上成功制备了单一相的ZnS 纳米薄膜。通过控制衬底温度、沉积时间和沉积速率得到了一系列特性不同的样品；并对所制备的样品利用扫描电子显微镜、X射线衍射、紫外-可见光谱和荧光光谱(PL)分别对其形貌、微观结构、光学特性进行了表征。研究表明：ZnS 纳米薄膜的晶体结构是单一的立方闪锌矿结构，表面覆盖着由球形或椭球形晶粒组成的聚集体。