超高真空翻板式快速关闭阀的研制

来源 :全国第二次同步辐射光束线工程束线光学与新技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhanbusha

【作者】

：

赵殿明

【机构】

：

院沈阳科学仪器研制中心

【出处】

：

全国第二次同步辐射光束线工程束线光学与新技术研讨会

【发表日期】

：

1997年期

【关键词】

：

超高真空翻板式

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