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该文使用氮离子注入和氮离子注入加离子束辅助沉积ＴｉＮ的方法分别得到了注入层和复合强化层，并将其运用于印刷电路板专用钻头的强化。文中对比了两种技术的强化效果；研究了它们的显微硬度。文中还运用ＡＥＳ、ＸＰＳ、ＸＲＤ等分析技术对得到的膜层进行了成分、相结构等分析，对这两种技术的强化机理进行了探讨。
离子束强化印制板钻头试验研究
【摘 要】
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该文使用氮离子注入和氮离子注入加离子束辅助沉积ＴｉＮ的方法分别得到了注入层和复合强化层，并将其运用于印刷电路板专用钻头的强化。文中对比了两种技术的强化效果；研究了它们的显
【机 构】
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兵工程学院工艺室
【出 处】
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97全国荷电粒子源粒子束学术会议
【发表日期】
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1997年期
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