【摘 要】
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热阴极电离规和冷阴极电离规被广泛用于特殊领域的超高真空测量,例如低温环境、强磁场环境以及空间环境等等。但是,电离规(电离真空计)本身的许多不足限制了其进一步应用,热灯丝引
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所,真空技术与物理重点实验室
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热阴极电离规和冷阴极电离规被广泛用于特殊领域的超高真空测量,例如低温环境、强磁场环境以及空间环境等等。但是,电离规(电离真空计)本身的许多不足限制了其进一步应用,热灯丝引起的热出气效应会引起真空度变差,热功耗通常达到数十瓦特,而对于冷阴极而言,也存在诸如非线性、磁场效应以及放电困难等不足。因而,近年来,场发射阴极电离规得到了国内外学者的广泛关注,此类规型被认为是解决目前超高/极高真空测量难题的重要手段之一。本文阐述了一种碳纳米管(CNT)阴极电离规,采用理论和实验的方法对其性能进行了优化研究.电子源选用了多壁碳纳米管(MWNT),碳纳米管通过CVD方法在不锈钢衬底上生长制备而成,在实验和模拟过程中,分别讨论了阳极和发射极电压对阳极电流l和离子收集率y的影响,通过各电极优化,此规管在5.0×10-4~1.0×104Pa范围内具有良好的线性,灵敏度为0.03Pa-1.
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