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本文介绍国外硅片切割设备研究的最新进展以及国内发展状况，剖析虽然经多年艰苦努力，国产切割设备乃未能取代进口设备的原因，指出应重点研究发展金刚石多线切割设备。金刚石单线和环线切割机应用前景广阔。
硅片线切割设备现状与发展综述
【摘 要】
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本文介绍国外硅片切割设备研究的最新进展以及国内发展状况，剖析虽然经多年艰苦努力，国产切割设备乃未能取代进口设备的原因，指出应重点研究发展金刚石多线切割设备。金刚石
【机 构】
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国家特种矿物材料工程技术研究中心,桂林541004
【出 处】
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2011中国(郑州)国际磨料磨具磨削技术发展论坛暨超硬材料论坛
【发表日期】
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2011年11期
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