Stuctural,optical and electrical properties of ZnO prepared by anodic oxidation from Zn

来源 :中国真空学会2014年年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tseysaw
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  ZnO thin flms prepared by anodic oxidation from metal Zn are investigated.It is shown that the as-prepared anodic ZnO flm has a high resistivity of~105 Ωm.The optical and structural properties of ZnO flm are signifcantly modulated by anodic oxidation with different current densities.
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