【摘 要】
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钛镐铪的氧化物都具有高折射率、低的光吸收及良好的透过性能，因此在光学、光电学方面 钛镐铪的氧化物应用广泛。此外，由于它们还具有其它一些独特的物理化学性能，使得 钛镐铪氧
【机 构】
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北京有色金属研究总院,北京,100088
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钛镐铪的氧化物都具有高折射率、低的光吸收及良好的透过性能，因此在光学、光电学方面 钛镐铪的氧化物应用广泛。此外，由于它们还具有其它一些独特的物理化学性能，使得 钛镐铪氧化物薄膜在微电子学、磁学、量子工程、表面工程等方面得到广泛应用。本文分别介绍了钛锆铪氧化物镀膜材料性能及在光学和其它领域的薄膜应用,并对市场状况进行了评估.
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