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类金刚石薄膜(DLC)具有高硬度、低摩擦系数、稳定的化学性能、高热导率等优良特性,被广泛应用于机械加工和航空航天领域等等。但随着大功率激光器的发展,类金刚石薄膜较差的抗激光损伤能力阻碍了其的发展。因此,对于类金刚石薄膜的激光损伤的研究成为人们目前研究的重点。在综合分析了近年来该领域研究的基础上,总结了影响类金刚石薄膜激光损伤的因素和激光损伤机理。