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本文研究了同一瓶三氯氧磷扩散源使用过程中,随工艺次数增加,氮气量保持恒定的情况下,磷源的携带量逐渐减少。硅片的方块电阻逐渐增加,方块电阻和电池片效率的离散度逐渐增加。通过对同一瓶三氯氧磷使用过程中逐渐增大氮气流量,方块电阻趋于稳定,方块电阻和电池片效率的离散度减小。
管式扩散中POCl3使用量的测量及对扩散工艺的影响
【摘 要】
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本文研究了同一瓶三氯氧磷扩散源使用过程中,随工艺次数增加,氮气量保持恒定的情况下,磷源的携带量逐渐减少。硅片的方块电阻逐渐增加,方块电阻和电池片效率的离散度逐渐增加
【机 构】
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常州亿晶光电科技有限公司;
【发表日期】
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2004年期
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